「一滴硫酸都不外運」!台積電綠色循環體系 推廢硫酸回收系統2.0及空汙防制升級
【記者蕭文康/台北報導】台積電(2330)積極推動綠色循環與減排技術,自詡為「綠色力量的執行者」,近期推動升級廢硫酸回收系統至2.0版,採用新型催化劑與耐腐蝕搪玻璃反應器,顯著提升效率並延長設備壽命,目標「一滴硫酸都不外運」,該系統已成新建廠區標準設計,進一步促進廢硫酸資源再生與循環利用。同時,台積電也開發氧化亞氮(N2O)及氮氧化物(NOx)削減技術,藉由引入甲烷裂解法提升尾氣處理效能,氧化亞氮削減率由42%提升至90%,氮氧化物減少40%,已成功導入多個晶圓廠並成標準設計。