台大團隊首創「臨場顯微半導體檢測技術」　突破半導體元件檢測瓶頸

【記者王良博／台北報導】在國科會支持下，台大物理學系教授邱雅萍團隊首創「臨場剖面掃描顯微半導體檢測技術（Operando Cross-sectional STM）」，此一技術為評估電晶體微縮潛力，提供重要檢測突破，有望成為次世代半導體元件開發中的核心檢測工具，目前已跟產業討論合作，研究成果也登上頂尖學術期刊《自然》（Nature）。
2026/07/16 11:31
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