曝光晶圓能耗大降67%!ASML台灣全據點落實100%綠電 拚2040全價值鏈淨零
【記者蕭文康/台北報導】全球半導體微影技術大廠艾司摩爾(ASML)長期深耕台灣,從環境永續、社會參與和人才發展等面向落實永續行動。其中,在環境永續方面,將設備能源效率納入技術發展方向,著手降低產品使用階段的能源消耗。根據 ASML EUV長期技術路線圖,2026年每片曝光晶圓能耗較 2018年降低約 67%。在企業營運與價值鏈管理上, ASML台灣已於 2025年達成全據點100%使用再生電力,全球營運亦於同年達成100%使用再生能源。