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台積電產線自動化再升級 提升EUV用電效能、年省8%能源消耗
【記者蕭文康／台北報導】台積電（2330）自5奈米製程採用紫外光（Extreme Ultraviolet, EUV）使得用電量大增，被外界形容是吃電怪獸，不過，台積電經過與供應商合作推動「EUV動態節能計畫」之後，每年可節省的能源占其全年總能源消耗8%，至2030年累積可節電1.9億度電，相當於減碳10.1萬公噸。
9月起導入晶圓15B廠、晶圓18A廠及晶圓18B廠
台積電今表示，提升能源使用效率是公司落實淨零排放的重要策略之一。因應先進製程演進，廠內EUV微影設備數量持續增加，為兼顧技術發展與環境永續，台積電攜手供應商推動「EUV動態節能計畫」，經實測產線設備每年可節省的能源占其全年總能源消耗8%。
2025年9月起，已陸續導入晶圓15B廠、晶圓18A廠及晶圓18B廠，今年底將全面導入海內外所有EUV設備，並列為新建廠區標準設計，預計至2030年可累積節電1億9000萬度，相當於減碳10萬1000公噸，達到節能與產能並重的雙重效益。
產線自動化再升級，提升EUV用電效能
台積電指出，積極厚植綠色管理於日常營運，並驅動整體產業鏈低碳轉型，為強化能源運用效益，2024年與設備供應商合作啟動節能計畫，成功將EUV微影設備瞬間電能消耗降低44%，並依據廠內生產需求與產線自動化系統導入相關處理機制，不僅有效降低能源消耗，同時兼顧產能穩定，實現環保的綠色生產流程。
評估導入深紫外光設備
台積電強調，呼應聯合國永續發展目標（Sustainable Development Goal, SDG）第7項─可負擔的潔淨能源，台積電持續擴大節能範疇，除EUV微影設備動態節能外，亦評估導入深紫外光（Deep Ultraviolet, DUV）設備及微影製程應用以外的模組設備，進一步提升整體生產的能源使用效率，以創新技術實踐永續發展。
