中國自製浸沒式DUV傳今年量產5台、明年20台 ASML股價嚇跌逾8%
【編譯于倩若／綜合外電】據《The Information》引述2名熟悉人士報導，上海一家獲中國政府支持的公司，已開始量產浸沒式深紫外（DUV）微影機，預計今年將首批設備交付給中芯國際、華虹半導體以及記憶體製造商長鑫。產量目標為2026年約5台、2027年約20台，而上述3家企業均名列目前正在美國國會審議的一項法案所列的中國企業名單；該法案若成為法律，將禁止ASML向這些企業銷售設備並提供維修服務。
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