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天虹ALD及PVD設備挑戰世界第一!訂單能見度到明年Q2 EUV量測驗證中

左起天虹執行副總經理羅偉瑞、董事長黃見駱、執行長易錦良。蕭文康攝 zoomin
左起天虹執行副總經理羅偉瑞、董事長黃見駱、執行長易錦良。蕭文康攝
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【記者蕭文康/新竹報導】半導體設備廠天虹科技(6937)執行長易錦良針對下半年及明年市場趨勢及產品佈局進行深入解析,他透露「天虹下半年生意看起來不錯,訂單能看到明年第2季,且相當忙碌」,ALD(原子層沈積)設備比重提高很多,是新的機會,310×310面板級封裝物理氣相沉積(PVD)設備年底前將送出,客戶相當多元,目前這個平台已可做到510×510的ALD的技術,他有信心的說「這兩個都會是我們全世界第一,台灣人做設備,以後不會再只是永遠扮演那個follower的角色,我們開始要挑戰全世界pioneer(先鋒)的角色」。

本文大綱

天虹站在天時、地利、人和

易錦良表示,台灣是一個半導體王國,最先進的製程技術都在台灣發展。過去台灣比較沒有關注設備領域,但天虹作為台灣設備公司,有機會與客戶在先進製程上接觸,「幫我們客人怎麼樣把先進製程能夠透過硬體上面開發實現出來」,天虹站在天時、地利、人和,上面,「重點是我們自己爭氣不爭氣。」 

布局光化學(CPO)技術新領域

針對未來產品方向,易錦良指出,未來陸續運用「光」技術協助製程,是一個新領域。過去海外設備大廠研究較少,天虹因符合客戶期待已開發平台,未來會看到新結果。他談到「光化學相關,利用光來協助化學反應」,並計畫利用UV光協助CVD與ALD製程,「實現填入更小幾何形狀,且無電漿及熱風險。」

另外,先進封裝是重要生意來源,設備跟著擴廠製程。他補充,CPO技術在InP(磷化銦)產業成為生意來源,並談到第三代半導體材料,「碳化矽(SiC)越來越多應用於Data Center,不只車用。Data Center建設增加,SiC需求同步成長。」 

🔗 延伸閱讀《天虹全球首台310x310 mm PLP PVD交機 啟動日本據點加速全球布局》

全台首台310x310 mm PLP PVD年底前交貨

談到最近具話題性面板級封裝方案,易錦良說,「310×310結構設備主要應用於先進封裝,雖非針對顯示器,但採用display方形概念,目前已出貨。 面板級封裝物理氣相沉積(PVD)設備與De-bond設備,明年初將推出ALD設備。他進一步強調,以前的ALD的技術都做在12吋的圓的上面,但是天虹現在已經利用面板級封裝平台做510×510的ALD的技術,「所以說這兩個都會是我們全世界第一,台灣人做設備,以後不會再只是永遠扮演那個 follower 的角色,我們開始要挑戰全世界pioneer(先鋒)的角色」。

在其他產品線方面,EUV 的量測設備目標是今年年底或是明年初,能夠去客戶那邊去做報告,看看能不能有機會真正進到他們廠裡面的機會;PLP的平台上面已經有PVD 設備,等明年初也就會有天虹的ALD的設備,所以目前看起來,市場上的還算是蠻正面的。

天虹已完成12吋機械剝離(Mechanical Debond)設備開發,預計下月出貨給客戶,主要瞄準不透光載板無法使用Laser Debond或UV Debond的需求。而蝕刻領域則預計年底推出Vectra新腔體,鎖定Silicon Etch及SiC Etch,並應用於TSV等結構。

訂單能見度到明年Q2

針對下半年及明年展望看法說,易錦良分析:ALD比重提高很多,是新的機會,310×310結構設備年底前將送出,客戶多元「天虹下半年生意看起來不錯,訂單能看到明年第1季或第2季,且相當忙碌。」他透露下半年主要產品為ALD設備,「ALD比重提高很多,是新的機會,310×310結構設備年底前將送出,客戶多元。」 

至於在海外布局方面,天虹去年底收購日本C&CK並更名為「哲虹」,未來將作為拓展日本市場的據點。易錦良表示,熊本仍是未來一定會走的方向,但現階段先透過既有日本企業作為Hub,再向其他地區拓展。此外,預計下季也將有天虹設備進入美國,逐步擴大海外市場版圖。

左起天虹執行副總經理羅偉瑞、董事長黃見駱、執行長易錦良。蕭文康攝 zoomin
左起天虹執行副總經理羅偉瑞、董事長黃見駱、執行長易錦良。蕭文康攝

海外以日本市場成長性最高、東南亞出貨量較多

天虹董事長黃見駱進一步補充,天虹目前積極佈局日本和東南亞市場,其中,日本市場目前雖佔營收規模不大但卻是海外市場中成長最高的區域,主要是日本也有許多半導體客戶。東南亞市場包括馬來西亞和新加坡雖成長性不若日本市場,但在出貨量方面則會是佔比最高。

天虹今年上半年營收13.01億元,年增33.6%,毛利率41.71%,年增1.22個百分點。稅後純益1.71億元,年大增151%,每股

 

純益2.54元。

 

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