國科會、台大砸4億蓋無塵室 打造半導體製程研究共享場域
【記者王良博／台北報導】台大重點科技研究學院在國科會「半導體學院重點設備建置專案計畫」支持下，於水源校區卓越研究大樓建置先進半導體製程研究場域，內部設置無塵室與量測設備，像是電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、奈米材料與半導體元件量測等設備，總經費達4億元，提供從元件製作、製程開發到分析驗證的一站式服務，可讓各校共同使用。
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