國科會推動半導體學院重點設備建置專案計畫，今（1）日在台大舉行計畫成果說明記者會。
計畫執行團隊代表、台大重點科技研究學院教授陳建甫說明，此計畫是支持全台大學的半導體學院，建置半導體重點設備，並打造區域共享環境，台大部分由重點科技學院執行，建置地點在台大水源校區卓越研究大樓。
陳建甫說，台大建置的先進半導體製程研發平台，由國科會投入3億元，校方自籌1億元，總共建置11台先進製程與量測設備，可支援8吋晶圓製程，技術範疇涵蓋電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、奈米材料與半導體元件量測等，可串連元件製作、製程開發跟分析驗證，建構一站式的半導體研發共享平台。
陳建甫也提到，近三年此平台累積12000人次使用，其中近30％為校外學術單位及產業界使用。
除了研究成果以外，台大表示，目前相關計畫的產學成果，已與台積電、力積電、鈺創、富采、瑞儀、群創及闔康等國內企業合作，金額達約8400萬元，國際合作方面則已與美國賓夕法尼亞大學 共同成立半導體研究中心，推動跨國專題研究、人才共同培育等學術交流。
