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曝光晶圓能耗大降67%!ASML台灣全據點落實100%綠電 拚2040全價值鏈淨零

曝光晶圓能耗大降67%!ASML台灣全據點落實100%綠電 拚2040全價值鏈淨零

【記者蕭文康/台北報導】全球半導體微影技術大廠艾司摩爾(ASML)長期深耕台灣,從環境永續、社會參與和人才發展等面向落實永續行動。其中,在環境永續方面,將設備能源效率納入技術發展方向,著手降低產品使用階段的能源消耗。根據 ASML EUV長期技術路線圖,2026年每片曝光晶圓能耗較 2018年降低約 67%。在企業營運與價值鏈管理上, ASML台灣已於 2025年達成全據點100%使用再生電力,全球營運亦於同年達成100%使用再生能源。
國科會、台大砸4億蓋無塵室 打造半導體製程研究共享場域

國科會、台大砸4億蓋無塵室 打造半導體製程研究共享場域

【記者王良博/台北報導】台大重點科技研究學院在國科會「半導體學院重點設備建置專案計畫」支持下,於水源校區卓越研究大樓建置先進半導體製程研究場域,內部設置無塵室與量測設備,像是電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、奈米材料與半導體元件量測等設備,總經費達4億元,提供從元件製作、製程開發到分析驗證的一站式服務,可讓各校共同使用。
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