不只晶片!台積電南科廠有「積蜜」 首創再生水用於半導體製造
【記者王良博/台南報導】台積電是半導體龍頭,但台積電不只有晶片。台積電南科18廠是全球最大先進製程基地,但廠內設計了綠廊道,還養殖蜜蜂幫助授粉,產出的蜂蜜稱為「積密」。另外,佔地160公頃的台積電南科廠內有再生水廠,每天供應2萬頓再生水,是全球首創將工業再生水用於半導體製程。

台積電18廠投資1.86兆
《知新聞》記者近日走訪台積電南科廠,此處共有20個廠區,佔地達160公傾,位於廠區內,一眼望去全是台積電風格的廠房、辦公建築,規模大到連台積電人員都笑稱,在廠區內可能迷路。
台積電南科廠區內,約有一半都屬於18廠所使用。18廠是台積電在南科最新的晶圓廠,共有8期,總投資金額達1.86兆元,創造約1.1萬個高科技工作機會,主要生產3奈米、4奈米及5奈米的晶圓。
台積電18廠是目前全球最大的先進製程製造基地,廠內現有1.1萬名左右的員工,約為台積電整體南科廠區的一半。

台積電南科廠的「積密」
值得注意的是,台積電18廠不是只有晶片,為了促成生態友善,台積電在18廠內打造一條綠廊道,道路兩側可見種植相當豐富的樹木,營造類似小森林的樣貌。
台積電人員說,18廠內還有養殖蜜蜂,用途是希望幫助廠內種植的植物授粉,而這些蜜蜂生產的蜂蜜,被稱為「積密」。
事實上,台積電在廠區內營造生態友善環境,並非只靠養蜜蜂,像是南科廠區內有進行螢火蟲復育,14廠第5期則有生態池,池中還養鴨,而南科廠區的中央大道、三抱竹路的路上,則種植超過50種植物。

首創工業再生水用於半導體
此外,半導體產業用水需求相當大,台積電也在水資源上大力著墨。
台積電在南科廠區設有再生水廠,每天可以產出2萬頓的再生水,不但是全台唯一的民營再生水廠,也是全球首創,將工業再生水用於半導體製程。
台積電人員指出,南科廠區的用水,佔整間公司用水量的一半,因此2015年就開始投入再生水研究。

半導體製造使用再生水的困難在於,對水質的要求非常高,雜質含量規定相當嚴格,而台積電南科再生水廠,使用園區內的工業廢水,經過處理後,可以達到半導體製造使用水準,目前已經可以用於最先進的製程。
台積電人員表示,除了南科再生水廠每天提供2萬頓再生水,該公司也和台南市府合作,使用安平、永康的再生水廠供應的水源,每天南科廠一共有6.7萬頓的再生水。
